LEXT OLS5100 激光共聚焦 3D 测量显微镜

国家标准规范说明

本款OLS5100三维激光测量显微镜全套光学探测、形貌分析系统均遵循ISO 25178表面纹理测量国际标准与IEC 60825-1激光设备安全规范完成设计、出厂校准。

两大标准分别对微观形貌粗糙度测量精度、激光安全防护等级划定统一硬性检测门槛，设备所有粗糙度、台阶高度三维测量数据可直接作为半导体、精密模具、新材料研发的论文、质检、第三方计量归档合规依据，测量结果具备国际通用计量采信效力。

设备核心定位与非接触检测优势讲解

OLS5100区别于传统光学显微镜、接触式粗糙度仪，是一套一体化共聚焦激光三维形貌计量综合平台。

它依靠405nm激光扫描实现无接触检测，不需要对样品切割、喷金、加压触碰，软性高分子、超薄晶圆、易碎MEMS芯片都可以完整保留原始形态完成观测，不会产生样品不可逆损伤，这是探针式测量设备无法实现的核心优势。

原厂配套专用LEXT系列物镜专门针对405nm激光做全域像差校正，从视场中心到样品边缘不会出现图像畸变，很多普通激光显微镜边缘形貌测量误差大，这款设备从光学源头规避了这类数据偏差，全域测量数值均匀可靠。

智能化自动扫描软件工作逻辑

整机配套Smart Scan II智能扫描系统是大幅降低操作门槛的核心模块。

操作人员只需要把样品放置载物台，点击启动按键，设备自动完成对焦、Z轴范围识别、激光参数优化整套流程，针对100μm高度差的陡峭台阶样品，传统设备扫描耗时数分钟，该系统可压缩至10秒左右完成成像，大幅提升实验室单日样品检测通量。

搭配Smart Experiment Manager智能实验管理程序，可批量预设多组测量步骤，软件自动采集数据并填入标准化实验矩阵，人工手动录入数据带来的抄写错误被完全杜绝，同时自带公差自动判定功能，扫描完成直接输出合格/不合格判定结论，适合产线批量抽检使用。

内置完整分析工具库，除常规粗糙度参数外，还能一键输出截面轮廓、材料体积、薄膜厚度等三维指标，低倍率5倍物镜下也可开启DIC微分干涉模式，分辨纳米级细微表面纹路，不用切换高倍物镜反复调试。

多机型模块化适配不同样品尺寸

厂家推出四款可自由选配的硬件机型，针对大小、高低、批量样品区分配置，不用单独定制改造整机。

SAF标准电动机型是通用主流配置，100mm行程搭配100mm样品升降高度，大部分精密零部件、小型晶圆、橡塑试样都能适配；EAF加高款最大样品高度210mm，大型注塑模具、厚金属工件无需拆分即可上机。

LAF大台面机型搭载300×300mm超大电动载物台，整块面板、大面积晶圆、阵列多试样同步扫描；SMF手动款省去电动驱动成本，适合预算有限、少量研发试样检测的小型实验室，四款机型光学测量精度完全保持一致，仅载物台规格区分。

主流行业落地应用场景划分

第一大应用领域是半导体微电子行业，MEMS微器件、晶圆光刻纹路、芯片薄膜台阶高度检测都依赖该设备无损三维扫描，避免探针划伤精密电路。

精密加工领域可用于金属模具、刀具微观磨损观测，分析表面粗糙度判断加工工艺优劣；材料科学实验室针对塑料、陶瓷、复合材料做高温老化前后形貌对比，直观量化老化形变程度。

同时适配光学元件、生物微流控芯片、新能源极片微观形貌检测，高校材料学院、第三方计量检测中心、工厂质检实验室都可作为主力微观测量设备长期使用。

实验室放置与设备日常养护要点

设备对环境震动敏感，需要安置在恒温20℃±1℃、低震动实验台面，远离冲压、铣床等大功率工业设备，温度波动超过1℃会轻微影响纳米级测量重复精度。

物镜镜片禁止徒手触碰，样品碎屑、粉尘及时清理载物台，长期堆积粉尘会遮挡激光光路，造成图像信噪比下降；激光光路不要直视，设备为Class 2低功率激光，长期直视仍会损伤眼底感光元件。

每年联系原厂做光学、载物台运动精度全套计量校准，保证长期测量数据符合ISO计量标准，配套软件定期更新原厂固件，解锁新的形貌分析算法。

长期配套供应技术说明

Evident（原奥林巴斯）长期深耕科研与工业精密光学设备研发，旗下LEXT系列三维激光显微镜、共聚焦成像设备光学工艺成熟，全系列机型均完成国际激光安全、表面计量标准检测，供货稳定，配套物镜、扫描组件、专业分析软件规格齐全，可面向半导体企业、新材料实验室、高校科研院所、第三方计量机构提供整机、配套物镜以及设备校准、试验方案技术支持服务。