Evident(原奥林巴斯科学事业部)依托奥林巴斯在光学领域近百年的技术积累,构建了覆盖工业检测全场景的激光扫描共聚焦显微镜产品线。用户可通过奥林巴斯官网(Evident工业显微镜平台)获取完整的产品信息与技术支持。
一、技术原理:共聚焦光路与光学切片
激光扫描共聚焦显微镜的核心在于"共聚焦"光路设计。激光光源发出的光束经物镜聚焦于样品表面某一点,反射光沿原路返回,穿过位于探测光路焦平面上的共聚焦XXX后被探测器接收。XXX可有效阻挡焦平面以外的杂散光与离焦信号,从而显著提升图像的分辨率与对比度。
系统通过高速扫描装置使激光束在样品表面逐点、逐行扫描,获得当前焦平面的二维图像;随后沿Z轴方向逐层改变聚焦位置,采集一系列不同深度的光学切片。基于这些切片数据,系统可重建出高精度的三维表面形貌,实现真正的非接触式3D测量。与传统宽场显微镜相比,共聚焦方案无需对样品进行切片或镀膜等前理,即可直接获取亚微米级精度的三维数据。
二、核心构成与关键技术指标
一套完整的激光扫描共聚焦显微镜通常由以下部分构成:多波长激光光源、高精度扫描振镜或旋转盘扫描单元、高数值孔径物镜组、高灵度光电探测器(如光电倍增管),以及负责采集、重建与分析的专用软件。
以Evident LEXT OLS5100为例,其技术特点包括:保证亚微米级3D表面形貌的测量精度;采用高性能光学器件,有效减少整个视场的像差;具备高分辨率图像拼接与快速扫描能力,可大幅缩短大面积样品的采集时间。此外,智能扫描功能可自XXX获得从选型、操作到数据分析的完整技术资料体系。
五、选型建议
选择激光扫描共聚焦显微镜时,建议重点考察四个维度:一是Z轴与XY方向的测量精度是否满足检测标准;二是扫描速度与拼接能力能否匹配产线节拍;三是软件自动化程度(智能扫描、自动测量流程)对操作人员经验的依赖程度;四是厂商的技术支持与本地化服务能力。Evident凭借OLS5100、OLS5500等成熟机型与完善的软件生态,为工业用户提供了从研发实验室到生产现场均可部署的共聚焦测量方案。





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